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1、內(nèi)部無彈簧，閥座和膜片一體焊接設(shè)計；

2、內(nèi)部容積小，可完全清掃流道；

3、鈷基超級合金隔膜強度高、耐腐蝕，使用壽命長；

4、全封閉式閥座設(shè)計，提高抗膨脹和防污染能力，改進的氦氣泄露測試性能。同時極少產(chǎn)生顆粒，使用壽命長；

5、內(nèi)表面粗糙度可達Ra 0.13μm(5μin.)；

6、高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度的半導體產(chǎn)業(yè)；

7、 每個產(chǎn)品出廠前都經(jīng)過氦氣測試。