- 規(guī)格參數(shù)
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- 安裝說明
1、SS316L VAR不銹鋼閥體材料,可用于超高純應(yīng)用;
2、內(nèi)表面粗糙度可達(dá)Ra 0.13μm(5μin.),可完全清掃流道;
3、將兩個(gè)LD 或HD系列的隔膜閥合二為一,通過共同的流路限度縮小了死區(qū),而且脫氣性優(yōu)越;
4、在保持原有閥門基本性能的同時(shí),通過同類或異類組合,可以設(shè)計(jì)出緊湊的配管系統(tǒng);
5、可以根據(jù)配管布置選擇合適的流路系統(tǒng),配管配置,接頭種類;
6、可以設(shè)計(jì)制作三聯(lián)以上的特殊規(guī)格的多聯(lián)隔膜閥;
7、鈷基超級(jí)合金隔膜強(qiáng)度高、耐腐蝕,使用壽命長(zhǎng);
8、全封閉式閥座設(shè)計(jì),提高抗膨脹和防污染能力,改進(jìn)的氦氣泄露測(cè)試性能。同時(shí)極少產(chǎn)生顆粒,使用壽命長(zhǎng);
9、高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè);
10、每一個(gè)產(chǎn)品出廠都經(jīng)過氦氣測(cè)試。