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HD系列高壓氣動高純隔膜閥

1、SS316L VAR不銹鋼閥體材料，可用于超高純應用；

2、內部容積小，可完全清掃流道；

3、鈷基超級合金隔膜強度高、耐腐蝕，使用壽命長；

4、全封閉式閥座設計，提高抗膨脹和防污染能力，改進的氦氣泄露測試性能。同時極少產生顆粒，使用壽命長；

5、內表面粗糙度可達Ra 0.13μm(5μin.)；

6、高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度的半導體產業(yè)；

7、每個產品出廠前都經過氦氣測試。